设备名称：等离子刻蚀设备

产地：美国

设备技术指标：

1、真空室尺寸：直径300*高度100

2、放电电极：内置，电容偶合

3、等离子电源：13.56mhz 自动匹配  ae

4、气路：4路质量流量控制器

5、外围配置：进口品牌管路，阀门

6、控制系统：全自动电脑控制

使用领域：光电、光伏、半导体、微电子、太阳能电池、纳米技术、科学实验等

特别使用在大学、实验室，高配置、高性能要求。

本产品的加工定制是是，品牌是昊光机电，型号是VGA300，别名是等离子刻蚀设备，用途是等离子刻蚀，化学气象沉积，工作能力是试验，小批量